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掩模板清洗機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長，受電場作用，微波等離子清洗機(jī)發(fā)生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)，不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體，從而達(dá)到清洗的效果；腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿足刻蝕的需要。微波等...

熱真空試驗(yàn)箱是在地面上模擬太空環(huán)境的環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備。近幾年來,熱真空試驗(yàn)設(shè)備在航天航空業(yè)產(chǎn)品的研制和定型中發(fā)揮了重要作用。熱真空試驗(yàn)箱由于結(jié)構(gòu)復(fù)雜,在運(yùn)行中有時(shí)會出現(xiàn)一些異常現(xiàn)象,如果不能及時(shí)排除,將延長試驗(yàn)周期,影響產(chǎn)品的研制工作。為此,我們對試驗(yàn)箱的基本工作原理作一些簡要闡述,并介紹如何對熱真空試驗(yàn)箱的一般故障進(jìn)行分析判斷和排除。1、斷開制冷控制,制冷閥關(guān)閉,檢查真空計(jì)通訊接口有無松動(dòng),分子泵轉(zhuǎn)速有無發(fā)生變化,經(jīng)檢查都正常,說明真空機(jī)組的問題可以排除。2、由于低溫降溫階...

空間環(huán)境試驗(yàn)是航天器研制工作中的重要程序，由于衛(wèi)星是由數(shù)萬個(gè)零部件組成的復(fù)雜產(chǎn)品，發(fā)射后出現(xiàn)故障，在軌道上不能直接維修，很難查明原因，衛(wèi)星的研制，發(fā)射耗資巨大，一旦發(fā)射失敗，不僅在經(jīng)濟(jì)上造成巨大損失，在政治和軍事上也將帶來重大影響，過去的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)證明，衛(wèi)星故障的70%是由于衛(wèi)星所經(jīng)歷的環(huán)境所造成。因此，在地面上必須做充分的環(huán)境試驗(yàn)后才能發(fā)射。隨著航天技術(shù)的發(fā)展，應(yīng)用衛(wèi)星的新特點(diǎn)是長壽命、多功能，對衛(wèi)星環(huán)境試驗(yàn)提出更高、更嚴(yán)格的要求。空間環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備的用途：用于軍工和航天產(chǎn)...

全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能，可達(dá)到6"旋轉(zhuǎn)平臺，支持到4個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達(dá)10-7Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)的產(chǎn)品特點(diǎn)：不銹鋼腔體260l/s或350l/s的渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵13.56MHz，300-600WRF射頻電源以及1KWDC直流電源晶振夾具具有的帶觀察視窗的腔門易于上下載片基于LabV...

微波等離子清洗機(jī)也叫等離子清潔機(jī)，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。微波等離子清洗機(jī)的優(yōu)勢：一、清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不...

熱真空試驗(yàn)箱由真空容器、熱沉、真空泵組、冷卻系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、控制及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)及其他特殊需求的機(jī)構(gòu)組成。設(shè)備采用模塊化設(shè)計(jì)，可以根據(jù)不同的試驗(yàn)需求所組合為*適用于用戶的個(gè)性化試驗(yàn)裝置。*的程序化控制單元設(shè)計(jì)，具有靈活的控制功能，對于典型的試驗(yàn)*實(shí)現(xiàn)了真正意義的自動(dòng)化控制。熱真空試驗(yàn)箱的設(shè)備特點(diǎn)：真空泵組所用的真空泵和各種配件均采用國際設(shè)備，確保設(shè)備在整個(gè)工作使用范圍內(nèi)均能高效、穩(wěn)定地運(yùn)行；高強(qiáng)度、高可靠性的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和熱沉設(shè)計(jì)確保了設(shè)備的高可靠性；專門定制的高強(qiáng)度氟橡膠密封條–...

光學(xué)鍍膜設(shè)備廣泛應(yīng)用于數(shù)碼科技(成像、顯示、電路、結(jié)構(gòu)裝飾件)，傳統(tǒng)光學(xué)、眼鏡，科學(xué)儀器、光通信、半導(dǎo)體、新能源等。光學(xué)鍍膜設(shè)備光學(xué)薄膜是建立在光學(xué)元件上鍍特定的膜質(zhì)來改變光波傳遞的特性、干涉光的效果達(dá)到的效果，高科技改變著人們的生活，光學(xué)鍍膜設(shè)備自然受到市場青睞，后期將會有更廣闊的前景，那么光學(xué)薄膜在光學(xué)系統(tǒng)中的啟到哪些作用呢？1、提高光學(xué)效率，減少雜光，例如反射鏡鍍制光學(xué)薄膜，提高或者減少光的反射效果。高反射鏡只取反射光，盡量減少透射光；減反射鏡減少光學(xué)元器件表面的發(fā)射光...

進(jìn)口晶圓清洗機(jī)采用Nano-Master進(jìn)口兆聲單晶圓及掩模版清洗機(jī)提供高可重復(fù)性、高均勻性及兆聲清洗。它可以在一個(gè)工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學(xué)試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。進(jìn)口晶圓清洗機(jī)設(shè)備特點(diǎn)：▲可更換清洗吸盤，可使用4-12英寸的清洗吸盤；▲操作程序可按作業(yè)需求編寫調(diào)整，設(shè)備運(yùn)行流程、清洗時(shí)間及各項(xiàng)參數(shù)可自行編制；▲設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)及參數(shù)在線實(shí)時(shí)監(jiān)控，自動(dòng)門配有安全光柵，保證操作安全；▲采用真空吸附式清洗盤，晶元夾具的取放更安全、方便；▲擺臂式清洗，清洗范圍可編制...